生物通

贝叶斯优化结合Langmuir-Blodgett胶体光刻与等离子体化学刻蚀制备垂直 ...

本文介绍了一种结合Langmuir-Blodgett胶体光刻与连续电感耦合等离子体反应离子刻蚀（ICP-RIE）的高性能、低成本方法，用于制备 ...