光波导可以用在很多领域，VR眼睛、光纤分路器等等，而采用PECVD是一种常用且容易控制参数的工艺手段。 PECVD是利用辉光放电产生的非平衡等离子体激活反应气体，使之电离，从而获得离子、原子和大量的活性基团，并发生化学反应，在衬底上沉积薄膜。

在微电子技术以及在微结构、微光学和微化学传感器中，需要在由不同材料构成的大面积的薄膜层中构造功能完善的结构。 Ø定义：硅与氧化剂反应生成二氧化硅。Ø原理：氧化剂被表面吸附，向膜中扩散，在二氧化硅和硅的接触界面反应生成新的二氧化硅 ...

二氧化硅（SiO2）粉尘是一种严重的职业病危害，长期吸入游离二氧化硅粉尘可引起职业病——矽肺病。自然界中游离二氧化硅的分别很广，95%的矿石内均含有不等的游离二氧化硅。按晶体结构可以将其分为结晶型（crystalline）、隐晶型（crypto crystalline）和无定型 ...

二氧化硅晶体中，硅原子的4个价电子与4个氧原子形成4个共价键，硅原子位于正四面体的中心，4个氧原子位于正四面体的4个顶角上。化学式SiO2，式量60.08。也叫硅石，是一种坚硬难溶的固体。它常以石英、鳞石英、方石英三种变体出现。从地面往下16千米几乎65 ...